X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好,測量速度快,靈敏度高的特點。能分析B(5)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片,液體等,分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析,并能給出半定量結(jié)果,結(jié)果準確度對某些樣品可以接近定量水平,分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析,薄膜分析。測量樣品的**尺寸要求為直徑51mm,高40mm。
X射線熒光光譜儀的基本試驗方法:
X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后,儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
用X射線照射試樣時,試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(或能量)分開,分別測量不同波長(或能量)的X射線的強度,以進行定性和定量分析,為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。
X射線熒光光譜儀分為波長色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光。
波長色散X射線熒光光譜采用晶體或人工擬晶體根據(jù)Bragg定律將不同能量的譜線分開,然后進行測量。波長色散X射線熒光光譜一般采用X射線管作激發(fā)源,可分為順序式(或稱單道式或掃描式)、同時式(或稱多道式)譜儀、和順序式與同時式相結(jié)合的譜儀三種類型。順序式通過掃描方法逐個測量元素,因此測量速度通常比同時式慢,適用于科研及多用途的工作。同時式則適用于相對固定組成,對測量速度要求高和批量試樣分析, 順序式與同時式相結(jié)合的譜儀結(jié)合了兩者的優(yōu)點。