陶瓷厚膜壓力變送器由壓力傳感器和信號處理轉(zhuǎn)換電路組成,根據(jù)不同的設計要求,兩者可做成分離型或一體結(jié)構(gòu)型。厚膜壓力傳感器的核心部件是陶瓷片上的厚膜電阻漿料(TFR),它以絲網(wǎng)印刷法印在Al2O3陶瓷彈性體上,再經(jīng)燒結(jié),裝配等工序制成。由于厚膜應變電阻是用TFR漿料直接印燒在陶瓷彈性體上,應變電阻和陶瓷彈性體能牢固地燒結(jié)成一個整體,既滿足了耐溫、耐腐蝕要求,又避免了粘貼而引起的蠕變和遲滯。成品壓力傳感器由測壓敏感元件TFR、密封墊圈、本體座等組成隔離密封腔,測量壓力時由輸入接續(xù)口導人測壓容室,直接作用在隔離陶瓷片上,通過隔離陶瓷片產(chǎn)生應變導致分布在其面上的厚膜漿料電阻發(fā)生物理變化,這種變化由惠斯登電橋檢出,然后進行信號的綜合處理。
工作試驗方法:
所謂厚膜壓阻效應就是厚膜電阻漿料(TFR)受到應力之后,其阻值大小發(fā)生明顯變化,即壓阻效應。
現(xiàn)廣泛應用的圓膜壓力傳感器,通常采用杯式結(jié)構(gòu),即在一片圓形的陶瓷上燒上一個環(huán)型陶瓷,形成杯底。因陶瓷片是一種**的彈性體,所以當制成杯后,此圓形杯底就是一個相當理想的周邊固緊的膜片。電橋的平衡狀態(tài)相應變化,得到對應于待測壓力信號的電信號,從而實現(xiàn)壓力信號一電信號的轉(zhuǎn)化。
厚膜壓力變送器采用力敏材料為彈性**的陶瓷體,故傳感器具有良好的線性度、遲滯性及溫度性能{直接接觸各種介質(zhì)無需隔離;體積小、重量輕、耐震動與沖擊、易安裝等特點,可廣泛應用于煤氣壓力測量,低腐蝕程度的化學水壓力測量,容器液位測量以及振動管道風壓測量等領域。