【***** 使用手冊】能量色散X熒光光譜儀，簡稱XRF，是一種物理的元素分析方法，具有快速、無損、多種元素同時(shí)分析、分析成本低等特殊技術(shù)優(yōu)勢，在電子、電器、珠寶、玩具、服裝、皮革、食品、建材、冶金、地礦、塑料、石油、化工、醫(yī)藥等行業(yè)廣泛應(yīng)用?！　∽远兰o(jì)七十年代末我國就引進(jìn)了能量色散X射線熒光光譜儀投入使用，到90年代我國已可以自主生產(chǎn)能量色散X射線熒光光譜儀。經(jīng)歷了近30年的發(fā)展，到二十一世紀(jì)初我國能量色散X射線熒光光譜儀生產(chǎn)技術(shù)已日臻**?！　r(shí)至目前，我國已有多家研制、生產(chǎn)、組裝能量色散X射線熒光光譜儀的廠商，其產(chǎn)品主要性能指標(biāo)基本接近**先進(jìn)水平。解決了產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)問題，我們就要來談一談能量色散X熒光光譜儀使用中的注意事項(xiàng)?！　∧芰可射線熒光光譜儀通常采用低功率X射線光管，功率通常為4~9W， 靶材有Rh、Mo、Cr、Au靶等，X射線光管和放射性核素源相比，除強(qiáng)度高以外，還可以根據(jù)待測元素選擇適當(dāng)?shù)募ぐl(fā)條件。為利用二次靶激發(fā)或偏振光激發(fā)，也可以使用較大功率(50~600W)，zui高電壓可達(dá)60~100kV，可以激發(fā)周期表中所有元素K系線。二次靶采用X射線光管發(fā)射出的原級X射線照射到另一純元素制成的靶材上，用它產(chǎn)生的特征X射線去激發(fā)樣品中的待測元素，利用選擇激發(fā)，可以降低背景，提高峰背比。　　而作為EDXRF中的主要部件，半導(dǎo)體探測器需要在**條件下保存、使用和維護(hù)?！　?、正確連接設(shè)備的各個(gè)部分，尤其對偏壓的極性應(yīng)**注意?！　?、 偏壓(100~1000V)是經(jīng)過探測器直接接到前置放大器*級場效應(yīng)管的柵極上。 由于半導(dǎo)體反接，偏壓幾乎**降在探測器上，而柵極上電壓降很小，當(dāng)偏壓突然上升或下降時(shí)，在高壓電脈沖的沖擊下，場效應(yīng)管易損壞。因此半導(dǎo)體探測器的偏壓必須用連續(xù)可調(diào)的高壓電源，緩慢增減。每次開始工作時(shí)，由零緩慢、均勻地調(diào)至工作電壓，每一步不少于1min?！　?、探測器低能輻射的半導(dǎo)體探測器的真空室都有一個(gè)厚度為 μm量級的鈹片制成的入射窗，作為射級的通道，它極易破碎，因此不宜直接對鈹窗吹氣，也不能用刷清洗?！　?、對用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測器，必須及時(shí)補(bǔ)充液氮。因?yàn)楫?dāng)溫度升高時(shí)，原來在漂移過程中形成的中性離子就會離解，這稱為“反漂移”，會導(dǎo)致半導(dǎo)體探測器性能下降，甚至損壞?！　》莱薄３睗駮?dǎo)致絕緣子及高壓回路漏電。鈹窗及真空室積水會損壞鈹窗，造成漏氣。除經(jīng)常擦拭之外，的方法是用一個(gè)大的塑料袋把探測器和低溫容器的出口一起罩上。由出口不斷蒸發(fā)出來的低溫干燥氮?dú)庵饾u趕去罩內(nèi)的空氣和水分，并保持很小的壓力，保持罩內(nèi)小范圍干燥?！　∫陨暇褪悄芰可射線熒光光譜儀的功能簡單介紹和使用中半導(dǎo)體探測器的注意事項(xiàng)，至于其他的零部件，筆者將在能量色散X熒光光譜儀的使用注意事項(xiàng)(下)中，為您詳解。 X熒光光譜儀技術(shù)試驗(yàn)方法

　　X熒光光譜儀(XRF)主要由激發(fā)源X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有**特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān)，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：

　　λ=K(Z-s)-2

　　式中K和S是常數(shù)。

　　而根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個(gè)光具有的能量為：

　　E=hν=hC/λ

　　式中，E為X射線光子的能量，單位為keV;h為普朗克常數(shù);ν為光波的頻率;C為光速。

　　因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有**的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。